將傳動機構直結於馬達內，無須額外的聯軸器、螺桿、齒輪、齒條等部件，簡單地實現直線精密定位的功能，可有效運用空間，節省機構設計、組裝時間及機台之總體成本。
貫通軸式：為標準形式直線步進馬達，由內部帶有螺母功能的馬達及貫通馬達之螺桿所構成。
外部驅動式：由出力軸為螺桿形式的馬達，搭配可鎖固在載台上之螺母所構成。